产品定位与核心参数

• 测量原理: 差分电容式，通过测量膜片与电极间的电容变化检测压力差 

• 测量范围: 全量程可选 0.2~1000 Torr (0.0267~133.3 kPa)，标准型号如 10 Torr (1.33 kPa)

• 精度等级: 高达 ±0.1% FS (满量程)，确保测量精准

• 材质: 全焊接 Inconel® 合金传感器，抗腐蚀，适合恶劣工业环境

• 输出信号: 多种模拟输出 (0-5V/0-10V/4-20mA)，可配置单向或双向校准

• 响应特性: 快速响应，适合捕捉瞬态压力变化

• 供电: 需配套 MKS PR400 或类似信号读取器

• 防护: 工业级外壳，减少 RF/EM 干扰

• 安全设计: 完全密封焊接，100% 泄漏检测，膜片失效时气体完全 containment 

• 226A: 标准差分型号 (已停产，现由 226B 替代)

• 226: 部分资料中与 226A 通用，具体以产品标签为准

工作原理

1. 被测压力差作用于膜片，使其产生微小形变

2. 膜片位移改变与电极间的距离，导致电容值变化

3. 电路将电容变化转换为与压力差成正比的电信号

4. 信号经放大、线性化处理后输出 

典型应用场景

1️⃣ 半导体与微电子制造

• 刻蚀 / 沉积设备: 监测反应腔室与排气管路间的压力差，精确控制工艺气体流量

• CVD/PVD 系统: 实时监控腔室压力波动，确保薄膜均匀性

• 光刻机: 环境压力稳定监测，保障光学系统精度

• 晶圆检测: 微小压力变化测量，评估封装质量

• 

2️⃣ 能源与环保领域

• 燃料电池: 监测气体流场与冷却系统压力差，优化反应效率

• 废气处理: 测量脱硫塔、脱硝反应器进出口压力降，监控系统效能

• HVAC 系统: 精确测量过滤网两端压差，指示更换时机

• 真空镀膜: 监控真空 chamber 与大气间压差，确保密封性

3️⃣ 医疗与生物科技

• 呼吸机 / 麻醉设备: 精确监测气道压力差，保障患者安全

• 生物反应器: 测量发酵罐内压力变化，控制微生物生长环境

• 医疗面罩测试: 检测口罩两侧压差，评估过滤效率 (如 N95 口罩测试)

• 药物输送系统: 精密控制微量液体 / 气体压力，确保剂量准确

4️⃣ 科研与实验室应用

• 材料测试: 测量微小压力变化，研究材料力学性能

• 流体力学实验: 精确测量风洞 / 水洞内压力分布，获取空气动力学数据

• 真空研究: 监测真空系统微小泄漏，保障实验环境纯净度

• 低温物理: 液氦 / 液氮容器液位监测 (通过压差测量)

5️⃣ 其他工业应用

• 精密制造: 液压系统压力波动监测，确保加工精度

• 航空航天: 发动机测试台压力差测量，评估性能

• 印刷 / 涂布: 控制涂布头与基材间压力，确保涂层均匀

• 真空炉: 监控炉内与环境压力差，保障热处理工艺稳定性

选型与使用要点

• 根据测量范围选择合适量程 (推荐实际压力在满量程的 30%-80% 范围内)

• 腐蚀性介质选择 Inconel 材质，一般工业环境可选标准型

• 根据控制系统选择匹配的输出信号类型 (0-10V 或 4-20mA)

• 如需双向测量，确认输出信号支持正负值

• 必须配套 MKS 信号读取器 (如 PR400) 使用，不直接与 PLC/DCS 连接

• 安装时确保压力接口密封良好，避免泄漏影响测量精度

• 定期校准 (建议每年一次)，维持测量准确性

• 避免在超出额定压力范围的环境使用，防止膜片损坏 

总结

• U102RWM001 XCG    

• U202DST600 000    

• U201SCN02A 000    

• U201DST600 000    

• U202SCN04A 000    

• U10XARR001 210    

• UC21CN XBS    

• U202DST600ZB    

• E8132TVFRJS_5    

• U204SPM/LVA00    

•