基本信息
制造商:Asyst Crossing Automation。
用途:主要用于半导体制造等领域中 300mm 晶圆的预对准操作,将晶圆精确地定位在指定位置,为后续的工艺步骤做好准备。
产品状态:有使用过的迹象,可能存在因运输、搬运和 / 或使用而产生的轻微划痕,但功能完全正常,按二手、未经测试的状态出售。
ASYST EG-300B-012A是一款晶圆预对准机器人
高精度定位:采用先进的传感技术和运动控制算法,能够将晶圆精确地定位在指定位置,定位精度高,可满足半导体制造工艺对晶圆对准的严格要求,为后续的光刻、蚀刻等工艺步骤提供准确的起始位置,有助于提高芯片制造的良品率。
快速操作:具备高效的运动控制系统,能够实现快速的晶圆抓取、搬运和对准操作,缩短了单个晶圆的处理时间,从而提高了整个生产流程的效率,有助于提升半导体制造生产线的产能。
稳定性高:设计上充分考虑了半导体制造环境的复杂性和对设备稳定性的高要求,采用了高品质的材料和先进的制造工艺,能够在长时间的连续运行中保持稳定的性能,减少了设备故障和停机时间,降低了维护成本。
兼容性好:可以与多种半导体制造设备进行无缝集成,如晶圆传输系统、光刻机、蚀刻机等,能够适应不同的生产流程和设备布局,提高了生产线的灵活性和可扩展性。
操作便捷:配备了人性化的操作界面和控制系统,操作人员可以通过简单的操作指令完成晶圆的预对准任务,同时还具备故障诊断和报警功能,方便操作人员及时发现和解决问题。
半导体制造:在半导体芯片制造过程中,晶圆的预对准是一个关键步骤。该设备能够将晶圆精确地定位在指定位置,为后续的光刻、蚀刻、镀膜等工艺提供准确的起始位置,有助于提高芯片制造的良品率和生产效率。
电子封装:在电子封装领域,需要将芯片等电子元件精确地封装在封装体中。ASYST EG-300B-012A 可以用于封装前的晶圆定位和对准,确保电子元件在封装过程中的位置精度,提高封装质量和可靠性。
光伏产业:在太阳能电池生产过程中,晶圆的处理和对准也非常重要。该设备可以应用于光伏产业中的晶圆传输和预对准环节,帮助提高太阳能电池的生产效率和质量。
科研机构:许多科研机构在进行半导体材料研究、微纳制造等领域的实验时,需要高精度的晶圆预对准设备。ASYST EG-300B-012A 可以为科研人员提供精确的晶圆定位和对准功能,支持他们的科研工作。
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