输入电压:±15 VDC。
输出电压:0-10 VDC。
测量范围:10 mbar。
精度较高:能够精确测量微小的压力差,适用于对压力测量精度要求较高的场合,如半导体制造、真空镀膜等领域。
稳定性好:在长时间使用过程中,能够保持稳定的性能,输出可靠的测量结果,减少了因传感器性能波动而导致的测量误差。
兼容性强:可与多种仪器设备配套使用,方便用户进行系统集成和升级。
抗干扰能力强:采用先进的电路设计和屏蔽技术,能够有效抵御外界电磁干扰,确保测量的准确性和稳定性。
半导体制造:在半导体芯片生产过程中,需要精确控制反应室内的压力、气体流量等参数,MKS 226A-30734 可用于测量和监控这些参数,确保生产过程的稳定性和产品质量。
真空镀膜:用于测量镀膜设备中的真空度和气体压力差,帮助操作人员精确控制镀膜工艺参数,提高镀膜质量和均匀性。
航空航天:在飞机的飞行控制系统、发动机测试等方面,可用于测量压力差,为飞机的安全飞行和性能优化提供重要的数据支持。
汽车制造:在汽车发动机的研发和生产过程中,可用于测量进气压力、燃油喷射压力等参数,优化发动机的燃烧效率和动力性能。
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